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            產(chǎn)品型號: FUD-1 Model-130

            所屬分類:

            產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-05

            簡要描述:日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130
            Model-130是一個(gè)概念模型,強(qiáng)調(diào)了所測量濃度的穩(wěn)定性,
            在需要高精度和高穩(wěn)定性密度計(jì)側(cè)的半導(dǎo)體制造過程中非常有效。

            詳細(xì)說明:

            日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130

            產(chǎn)品總覽

            該模型被定位為FUD-1 Model-13的模型,可滿足諸如高精度和高穩(wěn)定性測量等客戶需求。

            單組分密度計(jì)的特點(diǎn)

            Model-130是一個(gè)概念模型,強(qiáng)調(diào)了所測量濃度的穩(wěn)定性,
            在需要高精度和高穩(wěn)定性密度計(jì)側(cè)的半導(dǎo)體制造過程中非常有效。
             

            值得

            • 可以高精度連續(xù)測量
            • 免維護(hù),無需定期調(diào)整/校準(zhǔn)
            • 易于安裝,因?yàn)樵诎惭b過程中無需進(jìn)行任何調(diào)整
            • 通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過程

             

            用途

            • CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制
            • 稀釋過程中各種化學(xué)濃度的管理(H2O2,TMAH,HNO3,H2SO4,HCl等)
            • 清潔過程中的清潔液濃度控制(HF,NH4OH,KOH,IPA等)
            • 控制蝕刻過程中的蝕刻液濃度(HF,H2SO4等)
              

            日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130

            規(guī)范

            格式FUD-1 130型
            測量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度
            顯示LCD(密度,溫度,聲速/各種參數(shù))
            輸出信號模擬DC4-20mA(可設(shè)置任何濃度值)
            數(shù)字RS232C(密度/溫度/聲速/錯(cuò)誤代碼)
            警報(bào)上下限測量錯(cuò)誤
            電源供應(yīng)AC100V-240V 50 / 60Hz兩用30VA(也可使用DC24V)
            施工面板安裝類型(符合DIN標(biāo)準(zhǔn))
            功能輸出范圍設(shè)定功能,警報(bào)輸出設(shè)定功能,濃度顯示移動平均功能,濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能,自診斷功能,故障保險(xiǎn)功能,異常值取消功能
            選項(xiàng)溫度輸出(DC4?20mA)
            渠道高達(dá)10Ch
            電纜6米
            濕件材料PFA涂料
            配件公稱直徑為1/2到1英寸的各種類型
            測量環(huán)境轉(zhuǎn)換器
            10-40 ℃ RH85%以下
             發(fā)射機(jī) 5-45°攝氏度
             測量液體溫度 0-50°攝氏度
             耐壓性 0.3兆帕
            流量5 l / min以下


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